作站的技术员指着电脑屏幕惊喜的汇报数据htso● cc
激光粒子的强度会直接影响光刻工序的成品率，忽高忽低的情况一般都不允许出现htso● cc
“老郝，还是你激光发生器出了问题！”看到这一幕，胡明镇侧过脸来提醒郝宁教授htso● cc
郝宁教授的眉头不禁一皱，“是这个道理，但我们目前只能做到这种精度了htso● cc”
他告诉胡明镇，影响激光发生器的因素有很多，仅仅卤化物的纯净度这方面就会产生N种激光粒子htso● cc更别说激光发生器的机械材料、机械加工精度、机械装配精度等等，都会影响激光粒子的强度htso● cc
“长见识喽！难怪我们国家在激光发生器领域跟老外的差距那么大htso● cc”
“所以说，我们眼前的这台光刻机所蕴含的技术要远超我们的预想htso● cc”
“我认为咱们现在就可以下论断总结，判定这台KrF光刻机研发成功htso● cc”
“我同意老单的意见htso● cc”
听完郝宁教授的解释，刘教授、单教授、董教授等人反而比较高兴，在光刻室里就已经拿出此次论证审核的初步预判htso● cc
在他们看来，胡明镇的团队能做到这一步已经非常成功了htso● cc
这台光刻机的项目所取得的成绩，要远远大于项目本身的意义htso● cc
然而此时，胡明镇却微皱着眉头跟章钕京商量，“老章，我认为你还要增加两个批次的流片工程测试htso● cc”
“对，一个是高功率消耗的模式做光刻实验，一个是平常额定功率模式做光刻实验htso● cc”
“那实验经费怎么办？”胡明镇有些愁眉不展htso● cc