等着总装和调试25bqg點cc”万宁古告诉许振鸣这台光刻机的激光光路系统是进口货,其实根本不要检验其性能25bqg點cc最关键的事情就看光刻机总装以后的效果25bqg點cc
“光刻机的精度主要是受主体系统、底座、横移、减震等子系统的影响25bqg點cc万一这台设备的主体机械系统精度不够,我们的项目还是没成功25bqg點cc”
说到最后,万宁古的眉毛全都皱了起来25bqg點cc他对这台光刻机主体系统的精度很担心,心里没有十足的把握25bqg點cc
听到这话,许振鸣的心情也好不起来25bqg點cc“你们需要多长时间来准备?”念及此,许振鸣想要知道万宁古等人的总装和调试计划25bqg點cc
“三天左右吧25bqg點cc”何昌林扫了一眼现场的情况,缓缓说道25bqg點cc
“三天恐怕不行,最少要五天时间25bqg點cc”
“最多五天时间,许董25bqg點cc五天以后,我们就能做流片试验了25bqg點cc”
万宁古和郝宁等人的意见还不统一,一个说要三天多,一个说要五天时间25bqg點cc
看到这种情况,许振鸣微微点了点头,“好,五天以后我再看你们的成果25bqg點cc”说完这些,他也没心思在这里等待着,拿着一摞报表资料就离开了4号钢构大厂房25bqg點cc
五天后的上午九点左右,许振鸣再一次的来到这间光刻室,想要了解万宁古等人的项目进度情况25bqg點cc
这时候,车间里已经整理干净,一台组装好的光刻机矗立在车间的正中央25bqg點cc
这台光刻机就是万宁古等人的劳动成果,主体系统全是一鸣集团公司自己制造的,激光光路系统是从此米国佬光刻上拆下来的样品25bqg點cc
“准备开机,先启动冷却循环水交换器系统25bqg點cc””万宁古此时拿着对讲机,给手下的团队成员们下达命令25bqg點cc
看到许振鸣走来,他嘴角含笑的告诉许振鸣,“许董,这台国产光刻机我们已经完成初步调试,到目前为止还没有发现问题25bqg點cc”
万宁古告诉许振鸣,一天以前他们就已经完成光刻机的总装,第一次初步调试发现有问题,国产激光光源系统的散热有缺陷会影响第第三代光刻机的性能25bqg點cc
“所以,我们临时增加一个循环水的冷却系统来给这台光刻机降降温25bqg點cc”万宁古笑了笑25bqg點cc
许振鸣不了解这些技术细节问题,只是对这台光刻机的成功时间节点感兴趣25bqg點cc“你们现在准备干吗?马上要