,此时有一台拆开的第三代光刻机这台设备就是被胡明镇等人拆开,用来仿制激光光路系统的进口光刻机
为了保证这台进口的第三代光刻机的精度,光刻机的主体底座系统,此时已经安装就位该调整的设备基础、防震动、防电磁干扰等措施,都已经布置到位,而且做得很不错
车间里,章钕金带领着一般生产管理团队成员,正在检查这台已经解体的第三代光刻机
“老李,待会儿安装国产激光光路系统的时候,你一定要小心,多派人手来帮忙安装设备就位”这时,章钕金一边查看光刻机机的安装孔位,一边吩咐着许振鸣的师傅李全
李全是芯片生产线和半导体设备生产线的维保负责人,手下有一帮高级钳工、高级技师等团队成员
而且他这人做事比较严谨,此时正蹲在地上查看着光刻机的安装孔位“嗯,我知道了章总,你放一百二十个心,我们不会乱来的”李全一边干活,一边安慰有点紧张的章钕金
章如钕金此时有点紧张,生怕把许振鸣安排的任务给搞砸了倘若出现这种事情,这台从米国英特尔公司要来的光刻机就报废了
所以,章钕金一边说话,一边目不转睛的盯着李全手中的动作
此时此次,李全等人正在测试光刻机安装孔位的变形量等数据他们手中的动作在章钕金看来非常野蛮和粗糙,随时就可能把这台进口的光刻机给搞坏
“怎么样,安装孔位和设备空间的距离有变化么?”这时,许振鸣刚刚走了进来,蹲下身子看向激光发生器的安装作业面
听到这句话,李全转过脸来一抬眉,“老外设备的稳定性就是好,安装孔位的非常稳定,跟一开始的数据没什么两样”
“那就好!呵呵呵呵”章钕金笑得很开心他就怕这台安装好的光刻机主体系统,会有什么问题,到那时就不美了
“报告许董,这台老外的光刻机主体,性能非常稳定跟一开始检测的情况一模一样”
“许董,我们现在就开始安装激光光路系统么?”
“少废话,咱们现在就干活”
李全手下的安装技师们已经测试好激光光路系统的安装面,把测试的结果跟许振鸣简单汇报了一遍
从他们汇报的情况来看,这台用来做样的第三代光刻机主体系统,性能很不错没受到工作环境的影响,随时可以用来做试验
听完这番介绍,许振鸣大手一挥,“那还等什么,咱们现在就开始做试验”
等到这个命令,众人立即忙碌起来
有人负责开叉车倒运国产氟化氪激光光路系统的备件包装箱;有人负责拆除包装;还有人正在把氟化氪激光光路系统的配件组装成整体,准备往光刻机主体底座的安装孔位上就位
看到这一幕,许振鸣并没有插嘴乱说什么他对光刻机这种设备很陌生,