研究，差距可想而知bbtxt点cc
“嗯…许董的这个方法是比较好bbtxt点cc我们还可以把试验数据库代入数据模型算法里bbtxt点cc”洪爱国很显然已经听懂许振鸣的也是，激动的笑道bbtxt点cc
不多时，他们来到一个恒温、无尘的试验车间bbtxt点cc
这车间里有一个类似卧式加工中心的平台bbtxt点cc平台上有两个安装工位的小平台，加工面非常光滑，用镜面来形容也不为过bbtxt点cc
这座平台式的机构，就是光刻机的基础平台系统，上面将要安装两个工位bbtxt点cc一个工位用来光刻硅晶圆片，一个工位用于检测晶圆片bbtxt点cc
这种方式的加工方法，就叫双工光刻机，目前全球都没有这种设备bbtxt点cc一鸣集团公司的这台KrF光刻机若是能研发成功，便是全球第一台双工位光刻机bbtxt点cc
这事想想都让人激动，但实现起来难度非常大！
光刻机的基础平台对准精度特别高，要求做到0.003-0.01微米，全球有几家企业能做到？
是以，不要小看这台体积不是很大的光刻基础平台系统，每一个备件都加工件，精度要求都非常高bbtxt点cc
许振鸣把李尧喊来，就是让他参与改进主传动机构的改进工作，把空气轴承应用到光刻机的平台里bbtxt点cc
“我们集团公司正在做这种高精尖的设备吗？”听完许振鸣的介绍，李尧彻底震惊了bbtxt点cc他是听许振鸣说过要做光刻机，但不知道光刻机的精度要求会如此之高bbtxt点cc
0.003-0.01微米的重复定位精度是什么概念？用肉眼根本看出来有偏差，只能通过激光定位系统来测量误差bbtxt点cc
而这种精度的测距仪器，国内目光好像还没有，只有一鸣集团公司利用进口元件制作了几套在使用bbtxt点cc即便长弓集团公司这样的重点单位也没有，只能从一鸣集团公司来订购bbtxt点cc
所以说，李尧根本没听说过，也没见过这种高精度的测量仪器bbtxt点cc他满腹狐疑的看着许振鸣，心中暗道：“我们集团公司能做出这种精度的设备么？”
许振鸣好像能看懂李尧的内心想法bbtxt点cc
“李尧，你不用管其他的问题，只要把空气轴承给我提供过来就行bbtxt点cc光刻机的基座平台对震动量要求特别高，我们已经采用液压油系统来减震，跟流体轴承的原理非常相似bbtxt点cc”
许振鸣朝李尧一挥手，让他不要把注意力放在其他地方bbtxt点cc
他告诉李尧不要小看这种平台机构bbt