第一百七十六章：国产DUV光源
因为激光器安装运行需要的环境很苛刻，所以都是整合成为了一个部件chujiu8○ com
而之前走南闯北，李由等人也将目前大夏主流的几个光刻机看了个遍，摸了个遍，早已是胸有成竹chujiu8○ com
经历过人情冷暖的中年人可不像涉世未深的小年轻，不会轻易因为他人不理解产生的质疑而愤怒chujiu8○ com
用产品打脸才是最让他们暗爽的事chujiu8○ com
“既然贵司准备好了适配，我们实验室有这个型号的机器，就让我们拭目以待吧chujiu8○ com”
赵兴夏接着又补了一句：“先签个合同，以免实验过程中出现意外，造成大家不必要的损失，没问题吧？”
“自无不可chujiu8○ com”
顾青笑着答应了下来，他当然是理解对方的chujiu8○ com
光刻机虽然没有某些跑车贵，但却比跑车难造，弄坏一台都是血亏chujiu8○ com
他们半导体部门的队伍去其他厂家调整适配光源设备的时候都是交了一笔试验费用和保证金的chujiu8○ com
甚至法务部都做了几份相关合同模板出来chujiu8○ com
签了合同，赵兴夏才带着顾青一行人走到另一个研究室chujiu8○ com
对于已经建好的光刻机工作间，每一次实验都是非常昂贵的chujiu8○ com
穿上堪比防护服的白色工作服，李由等人带着数个光源设备部件进入了光刻机的超洁净工作间chujiu8○ com
赵兴夏看着这几人很是熟练的打开光刻机系统，将光源设备更换后，又很熟练的分成两队chujiu8○ com
李由这一队坐在一旁的电脑工作台上手指飞舞调整参数，张岩泰则带着自己这一队在光刻机的激光调整、能量控制器这些地方进行调整chujiu8○ com
虽然光源设备是适配这个光刻机的，但是有很多小问题是需要处理的，不然别说芯片造不出来，光刻机损坏都是很正常的chujiu8○ com
工作了大半天后，李由与张岩泰一起审查了一遍，这才对着房间内的摄像头比了个OK的手势chujiu8○ com
“赵教授，实验就要开始了chujiu8○ com”顾青提醒道chujiu8○ com
赵兴夏点了点头chujiu8○ com
不论是近紫外（NUV）激光还是深紫外（DUV）激光，又或者最高端的极紫外光EUVchujiu8○ com
它们都有个紫字，并非是很深奥的问题，因为这几个光源都是名副其实的紫色光
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