路线呢！
而且极紫外光则是目前距实用化最近的一种深亚微米的光刻技术，因为鹰酱在八十年代就对极紫外光技术进行了理论上的探讨并做了许多相关的实验，而且也是第一个造出第三代辐射同步光源的国家
可以说鹰酱砸很多技术领域都是走在最前面的，但是九十年代鹰酱努力地发展金融产业，大量的资本涌入了金融产业，国内的实体制造业也是受到了很大的冲击，鹰酱国内的唯一一家光刻机公司也是卖给了艾斯摩尔公司，虽然大量的研究机构还是能得到足够的经费，而军工集团公司因为军火出口制造的能力并没有下降得厉害，但是因为民间的企业都是经营困难破产的破产，转移产业的转移产业，整个国家的制造能力实际上是处于不断下滑的状态
而这十年间兔子国内的制造实力却是处于一种急速提升的状态，尤其是华兴集团公司能够设计制造出高精密的加工机械设备和在材料技术上的进步，连带着国内整体制造实力都是往上迈上了一个很大的台阶
能够在这么短的时间里面建设出来国内第一座第三代同步辐射光源设施并且大部分的仪器设备都能够自己设计制造出来就非常好地体现出来了
杨杰倒是希望鹰酱能够自己意识到自己国内的问题时间更晚一些，尽量地为自己的公司和国内多争取发展的时间
不过他也知道鹰酱要想再实现自己制造业强大的可能性并不是很大，除非碰上一个特别的历史机遇或者有那么一个非常强势的政治人物上台花非常大的力气才能扭转颓势，否则国力衰退只是一个迟早的问题
杨杰要现在要做的就是要紧紧地咬住这个历史机遇，努力地将手中的掌握的核心技术继续投入研发下去，别的不说，半导体产业最核心关键的光刻机技术和光刻机的市场他是要死死地攥在手里的
现在微电子行业的发展已经是受到重重阻碍，从微电子技术的发展过程能分析判断出，若不早日推出极紫外光刻技术来对当前的芯片制造方法做出全面的改进，将使整个芯片工业处在岌岌可危的地步
从现在来看，华兴集团公司在极紫外光光源和镜组方面的技术已经是掌握了，接下来的就是如何将光源和镜组小型化，虽然这中间还有很多的工程技术难题，但是这对华兴集团公司已经不是什么特别困难的事情了，几年之内是能够可以解决的
至于双工件台的精度误差控制在两纳米之内的高难度工程技术难题现在因为瑞星科技公司在磁悬浮技术上的研发上已经取得了很大的突破，现在瑞星科技公司的工件台运动精度误差控制在两到三纳米之间，已经是追上了艾斯摩尔公司的技术水平
因为瑞星科技公司是最早研发沉浸式光刻机技术的，在这