第416章 PECVD
奉天
晚餐之后，客人们旅途劳累，被送到招待所休息去了166k点cc
第二天上午，宾主重新落座，继续进行昨天的会谈166k点cc
MOCVD的讨论，成永兴基本上没有怎么参与166k点cc这些LED生产上的事情，已经不怎么值得他投入精力166k点cc有III型设备，不错，没有，也没有关系166k点cc
一台III型，可以抵过四五台II型，那么就上五台II型就好了166k点cc
一切都可以对付，唯独不能对付的就是时间166k点cc
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成永兴这次来，是针对LCD计划的一台核心机166k点cc
在LCD的生产步骤中，有个跟MOCVD功能和地位都很接近的设备，只不过在液晶生产里，它的名字叫做PECVD！
LCD产线升级的过程中，从一代到二代之中，发生的最大变化，就是这台
有了这台PECVD，就是第二代，没有，就是第一代！
PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)的中文解释，是等离子体增强化学气相沉积法166k点cc
它是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体166k点cc而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜166k点cc
美国应材于1993年生产的AKT-1600型CVD，一经推出，就垄断了这个市场166k点cc
MOCVD，已经属于很昂贵的半导体设备了，一台量产型的价格在2000万左右166k点cc
可PECVD呢？AKT-55KPECVD，单台售价超过了一个亿！
什么是高利润率？这才是真正的高利润率！
贵倒不要紧，更重要的是，这种设备，注定与光电无缘，根本就别想买到166k点cc所以光电必须另想办法166k点cc
其实在MOCVD领域，科仪在后世的名气并不大166k点cc但是他们在PECVD领域名气很大！
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谈到PECVD，会议室里的一群人，都来了兴趣166k点cc这算是挠到了他们的痒痒肉了166k点cc
科仪作为中科院的一员干将，主要的职责就包括了PECVD的研制与开发166k点cc
这些年，整个科研体系的日子都不算太好过166k点cc中科院系统，相对其它部委下属科研院所，还算是好的，至少活下去没有问题166k点cc
虽然如此，但中科院体系里的国家级的项目，也都面临科研经费不足的问题166k点cc在整个90年代，一大