在高分辨率的光刻机上也能达到十倍吗？
如果能，那岂不是可以直接实现3nm级别的工艺了？直接赶上全世界最先进制程！
“想什么呢？”纪弘一笑：“这玩意跟芯片制造本身一样，分辨率越高越困难。但是”
“但是什么？”纪弘没想大喘气，就是稍微顿了一下，于东直接就破不接待的接上了。
“现在的所谓5nm，3nm什么的也不是实际线宽呐，都是所谓的等效。所以，实际能做到什么程度，还得试过才知道。”
“我还有一个问题。”于东问道：“你们这个产线，光刻机是经过一定程度改造的吧？如果硬件不满足需求，光靠ai不能行吧？”
“嗯。”纪弘没有否认，也没必要，一看就知道，用到了机器视觉，不改造的尼康老光刻机哪有这玩意儿啊！
改造二手低端光刻机，国内有成型的产业链和相关企业，但是改造阿斯麦28nm的光刻机，谁来？
其实还是那句话：你都这么干了，为什么不直接提高光刻机的精度呢？难度其实差不多。
“所以，没法搞？”于东笑了笑，他知道纪弘肯定有想法，要不然带自己来这里的意义是什么呢？
“我让你看工业ai训练成果的！”纪弘无语道：“尼康的老光刻机硬件基础太差了，我们才需要大幅度的改造硬件以满足我们系统智能化的需求。
“但是阿斯麦的高端光刻机不需要吧？硬件本身是足够强大的！”
“只需要改造系统？”于东瞬间明悟。
“大概率。”到了这个程度，纪弘没有什么隐瞒：“但能不能达到十倍不好说。只能说，实现真正的5nm，不会有问题。”
“包括沪上微电子的s800系列，我推测，硬件系统都是足够的，要不然也不会一直在验证，而且年年发明年交货。精度不够，或者良率提不上来，大概率也跟系统有关。”
刘向东院士走之前跟纪弘说了很多，包括验证机良率的问题，无法交付的原因。
用刘向东院士的话说，单个部件拆下来去测试，所有的部件都是符合设计要求甚至是超出的，但是组装到一起，就是达不到预期的效果。
这不是系统控制问题还能是啥问题？
光刻机的整机系统以及各个子系统的控制系统，确实是一个非常庞大且复杂的东西，甚至比硬件本身都要复杂。
但这对于