点，科学院一个院士带着一群专家直接找他家里来了，他才意识到事情比较大发。
“这东西很先进？”孙博张口就问出了一个很傻的问题。
“先进不先进要看怎么去看待这个事儿。”刘院士摇了摇头：“单从精度结果上看，确实算不上先进。
“早好几年，水木大学和沪上微电子就成功的搭建了运动精度为10nm的气浮工件台为基础的光刻机。那个运动控制的最高精度甚至可以达到2nm，比你手里的这份数据强多了。
“但是，你知道为什么，沪上微电子的三台28nm光刻机验证机一直在验证，还没有办法向晶圆厂批量交付吗？”
“啊？”孙博懵了，“啊”了一声，心道：这我哪儿知道这个啊，我只会数学啊，要不要你给我一批数据，我给你们算算，兴许能算出来点儿什么，你这干问，我上哪儿知道去。
“算了，我给你说这些干什么！”刘院士摆了摆手：“你只需要知道，你这个精度数据，它怎么也说不上先进。”
不先进你来干什么，孙博很想问一句，但是他没有吱声，知道刘院士必有下文，果不其然，他的“但是”立即就来了：
“但是，虽然数据不先进，但是理论先进，而且这个模型根本就不是先进所能解释的了，我其实也没完全看明白。
“但我敢保证：如果能利用起来，不说euv光刻机，至少1980di这个级别的，我们立即就能实现量产！
“这就已经能解决很多问题了，华为现在的高端制程芯片就是用这个级别的光刻机通过4重6重套刻实现的——至少，产能这一块儿不再需要担心了！
“理论这么先进，那为什么我说它的数据不先进呢？是因为硬件设备太落后！”里边的很多数据刘院士一眼看起来就很熟悉：
“学校的教学实验室一直用的光刻机产生的数据就这些，我用了很多年啊，虽然看起来有些变化，但那个规律，别说些许变化，烧成灰我也认得出来！
“教学实验室你总该知道，那里的一台光刻机几十万到天了，用那玩意儿就能做到这个精度数据，这简直逆天了！
“还有最后这一对方程，这是干什么的？我没看懂！求收敛分布，这”
刘院士正要解释一下自己的疑惑，然而说着说着忽然顿住了：“我跟你解释这个干什么，你快先告诉我，这数据哪儿来的！”
于是，就有了刚才孙博打给纪弘的那个