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“好的,而且为了测试,我们还发明了一种专门用于光刻机测试的掩膜版和工序,它包括了套刻测试图形和参数计算公式hundun8 ◎cc”
庞克明示意下属开始演示hundun8 ◎cc
“山总,传统的测试分辨率和焦距的方法是制作光刻线宽测试版,即在光刻版的各个区域上都均匀放置一组线宽测试图形,在圆片上曝光后用扫描电镜测试该图形的线宽数据,然后再来评价光刻机镜头各区域的分辨率和最佳焦距hundun8 ◎cc我们这个算是一步到位,简单方便,啪的一闪,就能直接得出光刻机的参数了hundun8 ◎cc”
“嗯,不错!”苏远山再次点头hundun8 ◎cc
……
……
两小时后,苏远山几乎是一路飘着走出了无尘室hundun8 ◎cc
作为宏芯的代表,庞克明这次就不能再捡懒了,他也和林本坚,赵凯东,梁孟松等一起进入了会议室hundun8 ◎cc
“客套话我就不说了,意义我也不重复了,论功行赏什么的……”苏远山见众人都笑了起来,他也呵呵一笑:“咱们要低调点,不能抢了上面的风头hundun8 ◎cc”
“意思是,我们还要等上面验收?”庞克明看着苏远山,试探性地问道hundun8 ◎cc
苏远山微微一笑,点了点头:“虽然咱们早就过了验收报喜的阶段,而且我们也没有拿国家的钱,不需要上头来检查什么的,更不需要对上面负责……但该给的面子还是要给嘛hundun8 ◎cc”
在座几人纷纷点头hundun8 ◎cc
纵然大家都是一心搞技术的工程师,但活了这么大岁数,这种又不违背原则,又能让国家开心的事,怎么都是支持的hundun8 ◎cc
“不过这事儿你们别着急,庞工你也要给郑叔说一声,咱们这个消息要先保密起来——因为下个月半导体峰会就要召开了,现在初步想法是,等到半导体峰会结束之后再正式发布hundun8 ◎cc”
“然后这段时间,你们看能不能抓紧时间进厂,把良率……”苏远山说着自己就愣了一下,随即不好意思地笑了起来:“哎呀,时间太紧了,估计来不及hundun8 ◎cc”
梁孟松和庞克明相视一笑——进厂的话,那这活儿就应该是他俩来干了hundun8 ◎cc
从现在到五月十五号半导体峰会,满打满算都只有一个月挂零的时间,要在这么短的时间内完成拆装——嗯,加班加点的话,也不是不行hundun8 ◎cc但如果要正式投入使用,完善工艺和制程,那没有三五个月还真的是休想hundun8 ◎cc
毕竟,这台浸