,但好歹算是追上了cmsab◆org而且就现有的技术和理论来看,193nm将会成为很长一段时间内都无法突破的光源cmsab◆org否则灯塔国那边也不会成立EUV联盟,找寻新的出路了cmsab◆org
当然,对于如何跨越193nm,除了EUV之外,也有其他的方案cmsab◆org譬如尼康和SVG就在准备攻克157nm的HeF2激光,以及电子束投射(EPL),离子投射(IPL)、甚至X光等等……
总之,就是解决的办法一箩筐,放眼望去全是路cmsab◆org
但具体哪一条是真正的正道,谁也不知道cmsab◆org
嗯,只有苏远山一个人知道cmsab◆org
因为这些方案,都败给了眼前这个乐呵呵的老爷子cmsab◆org
“林叔,赵叔,193nm之后你们的想法是什么?”坐到沙发上,苏远山端起茶杯抿了一口cmsab◆org
赵凯东和林本坚对视了一眼,随后笑着道:“193nm看样子都要停留很久,你这么着急?”
“我本来是不着急的cmsab◆org”苏远山很坦白:“主要是老美那边搞EUV,搞得我有点心慌cmsab◆org”
赵凯东便笑着摇了摇头:“虽然说光源要比光刻机领先很多,但193nm的光源现在都尚未用在光刻机上,你心慌也没用cmsab◆org”
“至于说下一代光源,其实我和老林并不十分看好157nm,因为HeF2激光可以说要完全推翻现有的光路系统,非但物镜要重新搞,光刻胶也要重新研制……最主要的是,波长步进提升不大,且投入产出比太高了cmsab◆org”
“EUV,听起来很不错,有点下一代光源的意思cmsab◆org但你看EUV联盟那架势……就不是我们这个小作坊能够完成的cmsab◆org”
苏远山便笑道:“有您二位在,咱们这实验室可不是小作坊cmsab◆org”
“呵呵,不管是不是,但设计师不是有句话吗?摸着石头过河……既然前面有人趟路了,那我们也干脆摸着石头过河就行了cmsab◆org”赵凯东笑道:“intel不是拉了那么多企业吗?你也可以拉一个嘛cmsab◆org”
苏远山:“……”
他算是听明白了,赵凯东的意思是,让他也搞个EUV联盟cmsab◆org
苏远山倒是想搞,可现在要是搞的话,那就不是远芯主导,而是所有人给霓国人打工cmsab◆org
于是他便望向林本坚cmsab◆org
“林叔?你有什么妙招没有?”
(注:虽然有点枯燥,但……总归还是得写cmsab◆or